我国金刚石半导体产业与**国家相比存在：1、关键设备依赖进口，无自主知识产权，易遭到国外封锁；2、缺乏大尺寸金刚石衬底制备和薄膜外延生长工艺；3、金刚石研磨、键合、减薄技术不成熟等差距。本项目集合高校***科研团队和工业界***工程师团队，打通产业化所需的高质量金刚石薄膜生长、HFCVD热丝CVD金刚石设备定制、晶圆抛磨键合减薄等研发和生产环节，从工具级、热学级产品切入，并将持续推动光学级、电子级甚至**级产品研发。

鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称：鹏城半导体）自主研发的HFCVD热丝化学气相沉积设备（热丝化学气相沉积（HFCVD）金刚石涂层设备）可用于微米晶、纳米晶金刚石晶圆片生产，也可制造防腐耐磨硬质涂层、金刚石BDD电极、太阳能薄膜电池等。

自主研发生产的单/双面镀膜热丝CVD金刚石设备（HFCVD）可制备金刚石多晶晶圆片衬底尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸。

金刚石薄膜生产线

6英寸金刚石散热晶圆片

应用领域：第三代半导体、大功率激光器、10G通讯、微纳声学、功放器件、滤波器件等；可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。

公司简介：

鹏城半导体技术（深圳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于市场前沿、产业前沿和技术前沿的交叉点，寻求创新**与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。

公司核心业务是微纳材料（含半导体材料）、微纳制造工艺、微纳装备的研发设计和生产制造。

科研型设备：PVD、CVD、MBE分子束外延等。

工业生产型设备：大型蒸镀设备、多弧离子源镀膜设备、矩形磁控溅射镀膜设备、电子束蒸发设备、OLED镀膜设备、HFCVD热丝化学气相沉积设备、真空高温CVD炉、六英寸MBE生产设备。

公司技术和产品可以广泛应用于：新材料、新能源、微电子光电子、半导体、声学、光学、微机电系统（MEMS）；传感器、生物医学、**医疗、大健康、环保、微纳机器人、表面技术等领域。

公司核心研发团队知识结构完整，有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队，还有来自工业界的高级装备设计师团队。公司团队具有20多年的微纳材料与器件研究（含半导体材料）、PVD/CVD沉积技术研究、外延技术研究、薄膜制备成套装备设计和生产制造的经验。